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低温冷却循环器泵

简要描述:LX-70低温冷却循环器泵对半导体制造装置发热部的冷却:单晶片洗净转载、印刷机、自动夹座安装装置、喷涂装置、离子镀装置、蚀刻装置、单晶片处理装置、切片机、包装机、显影剂的温度管理、露光装置、生磁部分的加热装置等。

  • 产品型号:LX-70
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-01-18
  • 访  问  量:2069

详细介绍

品牌冠特制冷

LX-70低温冷却循环器泵对半导体制造装置发热部的冷却:单晶片洗净转载、印刷机、自动夹座安装装置、喷涂装置、离子镀装置、蚀刻装置、单晶片处理装置、切片机、包装机、显影剂的温度管理、露光装置、生磁部分的加热装置等。

对激光装置发热部分的冷却:激光加工、熔接机的发热部分、激光标志装置、发生装置、二氧化碳激光加工机等。

LX-70低温冷却循环器泵技术参数:

型号
LX-10
LX-25
LX-40
LX-70
LX-10A
LX-145
LX-20A
温度范围
-25.0~40.0
温控精度
±1
制冷量
20
1000W
2500W
4000W
7000W
10000W
14500W
20000W
0
700W
1500W
2400W
4000W
7500W
10000W
15500W
-20
300W
550W
800W
1500W
3500W
5000W
7300W
泵流量
20L/min 1.5bar
50L/min 1.8bar
安全保护
具有自我诊断功能;冷冻机过载保护;高压压力开关,过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能
冷却方式
水冷或风冷
温度探头
PT100 控制外围设备
加注冷媒
R404A
整机重量
75kg
90kg
110kg
135kg
165kg
195kg
240kg
电源
AC 220/380V 50/60HZ

 

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